中芯申请热处理设备及工作方法专利减少气流堆积对晶圆表面的损伤

　　金融界 2024 年 11 月 14 日消息，国家知识产权局信息显示，中芯南方集成电路制造有限公司和中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“热处理设备及热处理设备的工作方法”的专利，公开号 CN 118936051 A，申请日期为 2023 年 5 月。

　　Kaiyun团队的专业背景如何？

　　专利摘要显示，一种热处理设备及热处理设备的工作方法，包括：炉腔；位于炉腔内的晶圆基座；位于炉腔内的温度控制装置，用于控制晶圆基座的温度；位于炉腔外部的温度补偿装置，用于对炉腔的侧壁进行加热补偿；位于炉腔外的晶圆转运装置，用于将炉腔外部的晶圆转运到晶圆基座上；位于炉腔内的吹气装置，用于沿着垂直于晶圆的表面的方向朝着晶圆的表面进行吹气；控制模块，包括温控单元和吹扫单元；温控单元用于在晶圆转运装置将炉腔外部的晶圆转运到晶圆基座上的过程中，控制温度控制装置对晶圆基座进行升温处理同时控制温度补偿装置对炉腔的侧壁进行加热补偿；减少气流堆积对晶圆表面的损伤，同时减少晶圆表面杂质的产生，具有较广泛的使用范围。