北京屹唐半导体申请热处理设备的调温校准方法专利精确校准各条形灯的功率

　　金融界2024年12月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司申请一项名为“热处理设备的调温校准方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号 CN 119095207 A，申请日期为2024年9月。

　　专利摘要显示，本公开提供了热处理设备的调温校准方法、装置、设备以及存储介质。该方法包括：S1、单独开启热处理设备的多个加热灯中的目标加热灯，并将所述目标加热灯调节至第一功率值；S2、测量与所述目标加热灯对应的多个第一测温点的第一温度值；S3、根据所述多个第一测温点的第一温度值的平均值，调节所述目标加热灯至第二功率值，以使得所述平均值与目标工艺温度相同；S4、测量在所述第二功率值下，多个关联测温点的第二温度值；S5、在根据所述第二温度值确定所述目标加热灯的辐射能差异满足使用要求的情况下，根据所述第二功率值校准所述功率温度曲线根据本公开的方案可以精确校准各条形灯的功率，提高腔室控温精度，有助于腔室达到所需工艺温度。

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