北方华创新专利:半导体热处理技术重磅提升扩散工艺均匀性
发布时间:2025-03-22 02:15:46
作者:Kaiyun热处理团队
近日,金融界报道了北京北方华创微电子装备有限公司的一项最新专利申请,专利名为“工艺控制方法及半导体热处理设备”,公开号为CN119640411A,申请时间则是2023年9月。此项专利涉及的是半导体技术领域,其独特之处在于它能有效改善扩散工艺的晶片均匀性,简直是科技界的一次小革命!
通过观察晶片质量并计算其变化速率,这项工艺控制方法能够实时调整热处理设备的各项参数,比如磁流体转速、进气速率和抽气速率。这一过程中,如果发现变化速率不为零,设备会做出相应调整,直到达到完美的反应平衡。
值得一提的是,通过这样的精准控制,北方华创不仅让晶片能与反应气体充分互动,还能加快整个反应的速度,缩短工艺时间,从根本上提升生产效率,真是一举多得!
根据天眼查的数据,这家公司早在2001年便扎根于北京,目前注册资本高达114亿,业务范围涉及电气机械及器材制造,专利资源更是高达5000条。如果说半导体产业是未来科技的“金矿”,那北方华创无疑已在这片金矿上挖出了闪亮的黄金!
随着科技竞争日益激烈,这项新专利不仅彰显了北方华创在技术上的深厚积淀,更为整个半导体行业的进步提供了新的动力,引人期待的未来就在眼前。返回搜狐,查看更多